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반도체가스용기


 
반도체 가스용기 개요 반도체 가스용기는 232mm에서 610mm까지 다양한 파이프로 제조되고 있으며, 99,9999%의 순도 유지를 위한 내부 버렐 연마공법이 추가되어, 반도체 가스 저장 및 고순도용으로 가장 적합한 제품이다.
가스용도는 반도체, TFT-LCE, LED, 태양전지 제조공정에 사용됩니다.
제품사양 40.2~470L(232mm~610mm)
저장압력 166~300 bar
원재료 고강도 크롬-몰리브덴강
적용용도 헬륨(He), 질소(N2), 산화질소(N2O), 3불화질소(NF3), 6불화유황가스(SF6)등 저장.
적용규격 KS/ISO, US CFR(CSA) 등
적용인증 KSB ISO 11120, US DOT-3AA, TC-3AAM 등.
검사주기 신규검사 후 10년 이하(5년주기), 10년 경과(3년주기)